應用光譜分析方法測定試樣中元素含量時，所得結果與真實含量通常并不是一致的，總是存在著一定的誤差和偏差。這里所說的誤差是指每次測得的數值與真值之差，而偏差是指每次測得的數值與多次測量平均值之差。但習慣上人們常把誤差與偏差混用而不加區(qū)別。根據誤差的性質及其產生原因，誤差可分為:系統誤差(恒定誤差)、偶然誤差(隨機誤差)和過失誤差三種。

       ( 1)系統誤差：是指在測定過程中，由于某些固定的或按一定規(guī)律變化的因素，使測定結果向一個方向偏離真值所出現的誤差。系統誤差的大小在同一實驗中基本上是相同的。測量結果與真值偏離的程度越小，測定結果越正確，系統誤差就越小。只要找出產生系統誤差的原因一般可以通過校正將其扣除。

直讀光譜儀的誤差

       (2)偶然誤差：在測定中，多次分析結果與真實含量比較,是向兩個不同方向偏離，這時的誤差稱為偶然誤差。偶然誤差有時大、有時小、有時正，有時負，但其正負的出現機會基本相等。并且服從高斯分布定律。產生偶然誤差的原因很多，要完全消除偶然誤差是不可能的。但是，通過誤差分析, 找出產生誤差大的環(huán)節(jié)，改進分析條件和方法，仍然可以降低偶然誤差。

       (3)過失誤差：這種誤差也可以稱為差錯，是由于操作不細心、操作不正確所造成的,如樣品順序顛倒,讀錯刻度、記錄或計算錯誤等等。

       光譜分析過程，是由若千環(huán)節(jié)所組成的，每--個環(huán)節(jié)都產生一定的誤差。當無過失誤差時，光譜分析的誤差來源主要是系統誤差和偶然誤差，所有這些誤差的總和，便決定了光譜分析的準確度。而分析的準確度包含兩方面內容，一是分析的正確性，二是分析的再現性。正確性表示分析結果與真實含量的接近程度。系統誤差小，正確性高。精密度(再現性)表示多次分析結果的離散程度。當沒有系統誤差，或者系統誤差比偶然誤差小得多時，精密度就等于準確度。